Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

UHV용 유도결합 플라즈마 라디칼건에서 $N_2$의 분해도 측정

  • 주정훈 (군산대학교 공과대학 재료공학과)
  • Published : 2003.10.01
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