전달함수를 이용한 공기베어링 스테이지의 운동오차해석

  • 박천홍 (한국기계연구원 공작기계그룹) ;
  • 이찬홍 (한국기계연구원 공작기계그룹) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 공작기계그룹)
  • Published : 2003.10.01