단순화된 나노인덴테이션 모델에 근거한 폴리머 박막의 잔류 두께 평가

• 김재현 (한국기계연구원) ;
• 이학주 (한국기계연구원) ;
• 고순규 (한국기계연구원) ;
• 한승우 (한국기계연구원) ;
• 허신 (한국기계연구원) ;
• 정준호 (한국기계연구원)

• Kim, Jae-Hyun ;
• Lee, Hak-Ju ;
• Ko, Soon-Kyu ;
• Han, Seung-Woo ;
• Heo, Sin ;
• Jung, Jun-Ho

• 발행 : 2003.10.01

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