고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 SRSO 박막의 구조적, 광학적 특성

Structural and optical features of SRSO films grown by RF magnetron sputter

  • 김승원 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실) ;
  • 조남희 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실)
  • 발행 : 2003.11.01