한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- Pages.160-160
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- 2003
초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술
Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors′ electrodes
초록
This paper describes some of the key issues associated with the patterning of metal electrodes of sub-micron (especially at the critical dimension (CD) of 0.15
키워드