Pd/M(M=Si,Ge)-based Emitter Ohmic Contacts for AlGaAs/GaAs HBT

AlGaAs/GaAs HBT 에미터 전극용 Pd/M(M=Si,Ge)계 오믹 접촉

  • 박종범 (충주대학교 신소재공학과/나노기술연구소) ;
  • 이정일 (충주대학교 신소재공학과/나노기술연구소) ;
  • 김일호 (충주대학교 신소재공학과/나노기술연구소) ;
  • 최국선 (한국지질자원연구원 자원활용연구부) ;
  • 한만갑 (한국지질자원연구원 자원활용연구부) ;
  • 김준수 (한국지질자원연구원 자원활용연구부)
  • Published : 2003.11.01