Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2003.11a
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Pages.76-76
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2003

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

The characteristics of Cu-Ni alloy prepared by RF magnetron sputtering for thin film resistor

박막저항체를 위한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Cu-Ni alloy 박막의 특성

허성기 (충남대학교 재공학과) ;
최은석 (충남대학교 재공학과) ;
윤순길 (충남대학교 재공학과) ;
김동진 (㈜ 케이엠씨 테크놀러지) ;
강병돈 (㈜ 케이엠씨 테크놀러지)

Published : 2003.11.01

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Abstract

Keywords