수소처리를 통한 탄화규소 쇼트키 다이오드의 역방향 특성 개선

Improvements in the reverse characteristics of 4H-SiC Schottky barrier diodes by hydrogen treatments

  • 김대환 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 나훈주 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 정상용 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 송인복 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 엄명윤 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 송호근 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2003.11.01