한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- 2003
MOCVD법을 이용하여 증착된 (Ba,Sr)$RuO_3$ 박막의 특성평가
CHARACTERIZATION OF (Ba,Sr)$RuO_3$ FILMS DEPOSITED BY MOCVD
초록
Gbit급 DRAM 커패시터의 고유전물질로 각광받고 있는 (Ba,Sr)TiO
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