Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2003.11a
/
Pages.36-36
/
2003

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target

반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조

이광은 (충남대학교 재료공학과) ;
이정영 (㈜ 샘텍) ;
박명진 (㈜ 샘텍) ;
김종희 ;
이천배 (㈜ 샘텍) ;
김종오 (충남대학교 재료공학과)

Published : 2003.11.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords