Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
- /
- Pages.108-108
- /
- 2003
Dry Etching Characteristics of Ferroelectric SBT nin Film for NDRO-FRAM Using Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching
유도결합형 플라즈마를 이용한 비파괴 판독형 강유전체 메모리를 위한 강유전체 SBT 박막의 건식 식각 특성
Abstract
Keywords