Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.93-93
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- 2003
Process Stability of Titanium and Cobalt Films on $SiO_2$ Spacers
산화규소 스페이서에 대한 티타늄과 코발트박막의 안정성
Abstract
Keywords