Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Anti-adhesion and Nanomechanical Characteristics of Fluorocarbon Films for Nanoscale Device Fabrication

나노스케일 소자에 대한 불화유기박막의 점착방지 특성 평가

  • 김남균 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김태곤 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 신형재 (삼성전자 중앙연구소)
  • Published : 2003.05.01
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Abstract

Keywords