한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

계면활성제의 농도와 연마제의 크기가 STI 화학적 기계적 연마에 대한 나노 세리아 슬러리의 선택비에 미치는 영향

Surfactant Concentration and Abrasive Size Effects on the Selectivity of Nano Ceria Slurry for STI CMP

  • 김성준 (한양대학교 Nano SOI 공정연구실) ;
  • ;
  • 강현구 (한양대학교 Nano SOI 공정연구실) ;
  • 박재근 (한양대학교 Nano SOI 공정연구실) ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹 공학과)
  • 발행 : 2003.05.01
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