Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)
- 2003.06a
- /
- Pages.253-255
- /
- 2003
Automation of Flash Memory Model Parameter Generation
Flash Memory의 Model Parameter 생성 자동화
Abstract
Flash memory는 device 특성상 peripheral circuit을 구성하는 transistor의 종류가 다양하고, 이에 따른 각 transistor의 동작 전압 영역이 넓다. 이에 따라 설계 초기의 전기적 특성 스펙 절정을 위해서는, silicon 상에서 소자의 scale down에 따른 전기적 특성을 선 검증하는 과정이 필수적이었으며, 이로 인해 설계 및 소자 개발의 기간을 단축하기 어려웠다. 본 연구에서는 TCAD tool을 사용하여 silicon상에서의 제작 공정을 거치지 않고, 효과적으로 model parameter를 생성할 수 있도록 하는 방법을 제안하여. 전기적 특성 스펙 결정과 설계 단계의 시간 지연을 감소할 수 있도록 한다.
Keywords