Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Design of Automatic Diameter Controller for Crystal Grower-FF CZ150

Crystal Grower -FF CZ150의 자동 직경 제어기 설계

  • 양승현 (호서대학교 정보제어공학과) ;
  • 박종식 (호서대학교 정보제어공학과) ;
  • 이석원 (호서대학교 정보제어공학과)
  • Published : 2003.06.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 제조 현장에서 사용 중인 단결정 실리콘 성장기의 자동 직경 제어기를 2계 근사 모델을 이용하여 설계하고 시간지연 보상기를 적용함으로써 결정봉의 직경과 인상 속도를 최적화하여 결정봉의 제품에 직접적인 영향을 주는 결정 결함 및 언더나 오버의 직경 이상을 줄이고 제품의 질과 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 기존의 자동직경제어시스템의 고전적인 제어기를 보완함으로써 결과적으로 생산량 증가 및 제품의 질 향상에 이바지를 하고 새로이 요구되는 고객의 신기술 요구에 대한 현 장비의 제한성을 극복하는데 큰 기여를 할 것으로 기대 된다.

Keywords