Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

2003.05a
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Pages.107-110
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2003

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)

권호 표지

Behaviors of nano-scaled particles on silicon wafer surface

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 (㈜아이엠티) ;
김태훈 (㈜아이엠티) ;
조성호 (㈜아이엠티) ;
강영재 (한양대학교 금속재료공학과) ;
이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
박진구 (한양대학교 금속재료공학과)

Published : 2003.05.01

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Abstract

Keywords