자장 강화된 유도결합형 $SF_{6}$계 플라즈마를 이용한 SiC 식각특성에 관한 연구

• 박병재 (성균관대학교) ;
• 이효영 (성균관대학교) ;
• 김동우 (성균관대학교) ;
• 염근영 (성균관대학교)

• Published : 2003.05.01

• PDF