Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2003.05a
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- Pages.18-18
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- 2003
A study for synthesis of MgO thin films by magnetron sputterings with additional electron emission
부가 전자 방출에 따른 반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 MgO 박막의 합성에 관한 연구
Abstract
Keywords