Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1511-1513
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- 2003
Capacitive Polymer Humidity Sensor
정전용량형 고분자 습도센서
- Lim, Chang-Seob (DAEYANG ELECTRIC CO., LTD) ;
- Kwak, Kwang-Jong (DAEYANG ELECTRIC CO., LTD) ;
- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
- Min, Nam-Ki (Korea University)
- Published : 2003.07.21
Abstract
본 논문에서는 polyimide를 감습물질로 한 정전용량형 정밀습도센서를 개발하여 실용화한 결과를 보고한다. 유리기판에 제작된 습도센서는 상대습도 11%RH
Keywords