Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07d
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- Pages.2043-2045
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- 2003
Configuration control of a magnetic levitation stage.
자기부상스테이지의 제어에 관한 연구
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Nam, Taek-Kun
(Korea Electrotechnology Research Institute)
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Jeon, Jeong-Woo
(Korea Electrotechnology Research Institute)
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Kim, Yong-Joo
(Korea Electrotechnology Research Institute)
- Published : 2003.07.21
Abstract
본 연구에서는 자기부상 방식의 스테이지 시스템 설계 및 제작을 행하고 시스템의 제어성능평가를 하고자 한다. 본 논문에서는 제어성능의 효율성을 향상시키기 위하여 부상체(Platen)의 기계적인 모델링을 행하고 Platen의 PTP(point to point) 및 궤도추종제어가 가능한 슬라이딩 모드제어기를 제안하였다. 제안한 슬라이딩 모드제어기는 모델링 오차 및 외란에 대해서도 강인한 제어성능을 얻을 수 있으며 수치시뮬레이션을 통하여 그 유용성을 확인하였다.
Keywords