대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

마이크로 자이로스코프를 위한 제어기 설계 및 진공도에 따른 성능 분석

Controller design for microgyroscope and performance analysis at various vacuum level

  • 성운탁 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 이장규 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 강태삼 (건국대학교 기계항공공학부)
  • Sung, Woon-Tahk (School of Electrical Engineering & Computer Science, Seoul National University) ;
  • Lee, Jang-Gyu (School of Electrical Engineering & Computer Science, Seoul National University) ;
  • Kang, Tae-Sam (School of Electrical Engineering & Computer Science, Konkuk University)
  • 발행 : 2003.07.21
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초록

본 논문에서는 진동형 마이크로 자이로스코프를 위한 폐루프 제어기를 설계하였으며 실험을 통하여 설계된 제어기의 성능을 검증하였다. 일반적으로 진동형 자이로스코프를 동작시키기 위해서는 구동축과 검출축의 공진 모드가 일치되도륵 설계를 하며 높은 감도를 얻기 위해서는 이 두 모드의 Q값이 클수록 유리하다. 하지만 이러한 개루프 상에서 동작 하에서는 대역폭과 선형성 등의 성능에 제약을 가져오게 되며 이를 개선하기 위해 폐루프 제어기가 필요하다. 본 논문에서는 진공도에 따른 Q값의 변화와 이에 따른 제어기의 성능을 분석하였으며 실험 결과로부터 설계된 제어기가 만족할만한 성능의 개선을 가져옴을 확인하였다.

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