Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference (한국원자력학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.243.2-243.2
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2003

Korean Nuclear Society (한국원자력학회)

권호 표지

A Study of Ion Implant and Sputtering Simulations

이온 Implant 및 Sputtering에 대한 전산모사 연구

유재권 (한국원자력연구소) ;
김선국 (한국원자력연구소) ;
박현민 (한국원자력연구소) ;
권덕희 (한국원자력연구소) ;
한재민 (한국원자력연구소) ;
이용주 (한국원자력연구소)

Published : 2003.10.01

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Abstract

Keywords