Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2002.10a
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- Pages.208.1-208
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- 2002
Fabrication of AFM Cantilever Using SU-8 Polymer
SU-8을 이용한 AFM Cantilever 제조
- Lee, Jae-Geol ;
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Sin, Hyeon-Jeong
;
- Kim, Seong-Dong ;
- Hong, Seung-Beom ;
- Jeong, Ju-Hwan ;
- Park, Hong-Sik ;
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Mun, Ju-Ho
- 이재걸 (연세대학교 세라믹공학과) ;
-
신현정
(국민대학교 신소재공학부)
;
- 김성동 (삼성종합기술원) ;
- 홍승범 (삼성종합기술원) ;
- 정주환 (삼성종합기술원) ;
- 박홍식 (삼성종합기술원) ;
-
문주호
(연세대학교 세라믹공학과)
- Published : 2002.10.18
Abstract
Keywords