Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Pt Hillock Formation Mechanism of Pt/Ti Electrode for the Ferroelectric Random Access Memory

강유전체 랜덤 억세스 메모리(FRAM)용 Pt/Ti 전극에서 Pt Hillock 생성기구

  • 정원웅 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 권순용 (하이닉스 반도체 메모리 연구소) ;
  • 염승진 (하이닉스 반도체 메모리 연구소)
  • Published : 2002.10.18
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Abstract

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