Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Micromachined PZT Cantilever의 다층박막 두께에 따른 응력 분포 해석

  • 이정훈 (연세대학교 세라믹공학과, KIST 마이크로시스템연구센터) ;
  • 황교선 (KIST 마이크로시스템연구센터) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김태송 (KIST 마이크로시스템연구센터)
  • Published : 2002.10.18
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Abstract

Keywords