한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
- /
- Pages.115.2-115
- /
- 2002
열 필라멘트법에 의한 저온 다결정 실리콘 박막의 화학기상증착
Chemical Vapor Deposition of Low Temperature Poly Si Thin Film by Hot Filament Method
- 발행 : 2002.10.18