Investigation of the Nano-structural and Optical Features of nc-Si Films Grown by RF Magnetron Sputter Techniques

RF 마그네트론 스퍼터 기법에 의해 제조된 nc-Si의 나노구조 및 광학적 특성

  • 한규호 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 박명범 (육군 3사관학교 신소재/시스템학과) ;
  • 조남희 (인하대학교 재료공학부)
  • Published : 2002.10.18