The Relationship of $sp^3$ Ratio and Defect Density in ta-C Thin Films

ta-C 박막내의 $sp^3$ 분율과 Defect Density와의 관계

  • 이철승 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부)
  • Published : 2002.10.18