한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

자가검출용 질량센서를 위한 PZT 박막형 Bimorph 액츄에이터의 전왜특성 연구

Study on the Electrostriction of PZT Thin Film Bimorph Actuator for Mass Sensor with Self-Sensing

  • 유동주 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2002.10.18
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