한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.65.1-65
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- 2002
Cu-CMP용 슬러리의 화학적 성질이 슬러리 분산 안정성과 Cu-CMP 공정에 미치는 영향
The Effect of Slurry Chemistry on the Dispersion Stability of Cu CMP Slurry and its Influence on Cu CMP Process
- Yun, Pil-Won ;
- Kim, Sang-Gyun ;
- Baek, Un-Gyu ;
- Park, Jae-Geun ;
- Katoh, T.
- 발행 : 2002.10.18