Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2002.10a
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- Pages.53.2-53
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- 2002
Characterization of Silicon Nitride Thin Films by Nanoindentation and Scanning Probe Microscope
나노인덴테이션 주사탐침현미경을 이용한 질화 규소 박막의 특성 평가
- Kim, Bong-Seop ;
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Lee, Hong-Rim
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Go, Cheol-Ho
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Yun, Jon-Do
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- Kim, Ji-Su ;
- Choe, Seong-Ryong ;
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Kim, Gwang-Ho
- 김봉섭 (경남대학교 공동기기센터 전자현미경실) ;
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이홍림
(경남대학교 공동기기센터 전자현미경실)
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고철호
(경남대학교 공동기기센터 전자현미경실)
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윤존도
(경남대학교 재료공학과)
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- 김지수 (경남대학교 재료공학과) ;
- 최성룡 (부산대학교 재료공학부) ;
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김광호
(부산대학교 재료공학부)
- Published : 2002.10.18
Abstract
Keywords