한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.42.1-42
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- 2002
RF Magnetron Sputtering을 이용하여 저온에서 증착한 ITO 박막의 특성
Properties of ITO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Low Temperature
- 발행 : 2002.10.18