SiO$_2$ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구

• 정민재 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과)

• Jeong, Min-Jae ;
• Lee, Do-Haeng ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 발행 : 2002.02.19

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