Nano-structure of $SiO_{x}N_{y}$ on Si(001) using $N_2^{+}/O_{2}$ mixture and $N_2O$ gases

• 윤형중 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 이주상 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 정민철 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 한문섭 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 유병덕 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 공기정 (서울시립대학교 양자정보처리단)

• Yun, Hyeong-Jung ;
• Lee, Ju-Sang ;
• Jeong, Min-Cheol ;
• Han, Mun-Seop ;
• Yu, Byeong-Deok ;
• Gong, Gi-Jeong

• 발행 : 2002.02.19

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