Laser Induced Incandescence를 이용한 플라즈마에서 생성된 나노크기의 오염입자 크기측정

  • 엄규섭 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 박철웅 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 한재원 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 박성종 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 최원호 (한국과학기술원 물리학과)
  • 발행 : 2002.02.19