Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.202-202
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- 2002
Laser Induced Incandescence를 이용한 플라즈마에서 생성된 나노크기의 오염입자 크기측정
- Eom, Gyu-Seop ;
- Park, Cheol-Ung ;
- Han, Jae-Won ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Jeong, Gwang-Hwa ;
- Park, Seong-Jong ;
- Choe, Won-Ho
- 엄규섭 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
- 박철웅 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
- 한재원 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 박성종 (한국과학기술원 물리학과) ;
- 최원호 (한국과학기술원 물리학과)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords