QMS를 이용한 radical의 공간분포 측정

• 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 송선호 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)

• Kim, Jeong-Hyeong ;
• Song, Seon-Ho ;
• Im, Jong-Yeon ;
• Seong, Dae-Jin ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Hong, Seung-Su ;
• Im, In-Tae ;
• Jeong, Gwang-Hwa

• 발행 : 2002.02.19

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