02)567-9486
한국어
한국어
English
한국진공학회
http://www.kvs.or.kr
한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
/
Pages.188-188
/
2002
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
집속이온빔 장치를 이용한 Al, Cu 및 Ni의 스퍼터링 수율 측정
현정우
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
오현주
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
최은하
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
강승언
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실)
Hyeon, Jeong-U
;
O, Hyeon-Ju
;
Choe, Eun-Ha
;
Gang, Seung-Eon
발행 : 2002.02.19
PDF
PDF 다운로드
〈 이전 논문
다음 논문 〉
초록
키워드
자세히 찾기
×
제목, 요약, 키워드
학술지
발행년도
권
호
페이지
저자명
저자소속기관
발행처
DOI
자료유형
학술지
학술회의자료
협회지