집속이온빔 장치를 이용한 Al, Cu 및 Ni의 스퍼터링 수율 측정

  • 현정우 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
  • 오현주 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
  • 최은하 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실) ;
  • 강승언 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 연구실)
  • 발행 : 2002.02.19