Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

SiH$_4$ 희석기체 방전 시 티끌입자가 플라즈마 덮개영역에 미치는 영향

  • 박성종 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 최원호 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 엄규섭 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 박철웅 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 한재원 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹)
  • Published : 2002.02.19
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