Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.164-164
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- 2002
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 $-NH_2$ 밀도와 증착변수와의 상관관계
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords