한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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- Pages.164-164
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- 2002
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 $-NH_2$ 밀도와 증착변수와의 상관관계
- 발행 : 2002.02.19