한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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- Pages.161-161
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- 2002
150mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
- 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 조관식 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) ;
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전민현
(인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소)
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임재영
(인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소)
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이제원
(인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소)
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- 조국산 ((주)클라이오텍)
- Jeong, Pil-Gu ;
- Im, Wan-Tae ;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Jeon, Min-Hyeon
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Im, Jae-Yeong
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Lee, Je-Won
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- Jo, Guk-San
- 발행 : 2002.02.19