Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.161-161
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- 2002
150mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
- Jeong, Pil-Gu ;
- Im, Wan-Tae ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Jeon, Min-Hyeon ;
- Im, Jae-Yeong ;
- Lee, Je-Won ;
- Jo, Guk-San
- 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 조관식 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) ;
- 전민현 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) ;
- 임재영 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) ;
- 조국산 ((주)클라이오텍)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords