플라즈마 에칭을 통한 촉매 금속의 표면 변화가 탄소나노튜브의 성장에 미치는 영향

  • 최선홍 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이태영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 한재희 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 유지범 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 정태원 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
  • 유세기 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
  • 이휘건 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
  • 김종민 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원)
  • Published : 2002.02.19