Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.152-152
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- 2002
플라즈마 에칭을 통한 촉매 금속의 표면 변화가 탄소나노튜브의 성장에 미치는 영향
- Choe, Seon-Hong ;
- Lee, Tae-Yeong ;
- Han, Jae-Hui ;
- Yu, Ji-Beom ;
- Jeong, Tae-Won ;
- Yu, Se-Gi ;
- Lee, Hwi-Geon ;
- Kim, Jong-Min
- 최선홍 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 이태영 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 한재희 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 유지범 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 정태원 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
- 유세기 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
- 이휘건 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원) ;
- 김종민 (전자방출원 연구단, 삼성종합기술원)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords