Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD) 방법을 이용한 multi-walled carbon nanotube의 저온 합성

  • 우윤성 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 전덕영 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이내성 (세종대학교 신소재공학부) ;
  • 한인택 (삼성종합기술원 FED project) ;
  • 박영준 (삼성종합기술원 FED project) ;
  • 김하진 (삼성종합기술원 FED project) ;
  • 정재은 (삼성종합기술원 FED project) ;
  • 김종민 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 2002.02.19