Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

고속 마그네트론 스퍼터링에 의한 CrNx 후막의 합성 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 빈진호 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술연구센터) ;
  • 남경훈 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술연구센터)
  • Published : 2002.02.19
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Abstract

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