스퍼터법으로 증착된 ITO/Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화

  • 정명효 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
  • 백민 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
  • 윤종만 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
  • 손영호 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
  • 황도원 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
  • 이종복 ((주)나우테크) ;
  • 안인우 ((주)나우테크)
  • 발행 : 2002.02.19